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點擊下方步驟,觀看分子級晶圓動態拆解
Step 1
晶圓接合
Step 2
精準剝離
Step 3
厚度控制
Step 4
表面平整
施體晶圓 Wafer A
頂層矽
埋入氧化層 (BOX)
矽基板 Wafer B
極薄矽層:20 ~ 50Å
光波導限光傳輸效率 95%
Step 1:晶圓接合 (Wafer Bonding)
製程細節
將兩片拋光後的原始矽晶圓(Wafer A 與 Wafer B)進行分子級牢固接合。
關鍵指標
確保界面完全無氣泡、高結合力。
💎 環球晶垂直整合優勢:矽晶圓原料為 100% 自產,能從底層控制晶圓接合界面的純淨度,打造高穩定度的接合基礎。